表面輪廓測(cè)量?jī)x

表面輪廓測(cè)量裝置基本技術(shù)參數(shù) :

基座尺寸 （W x D）: 600 x 450mm
基座材料 : 花崗巖
尺寸 （W x D x H）: 756 x 482 x 966mm （主機(jī)）
重量 : 140kg （主機(jī)）
電源 : 100 – 240V AC ±10%, 50/60Hz
能耗 : 400W （主機(jī)）
技術(shù)參數(shù) :
表面輪廓測(cè)量裝置X1 軸
測(cè)量范圍 : 100mm
分辨率 : 0.05µm
驅(qū)動(dòng)速度 : 0 - 80mm/s 外加手動(dòng)
測(cè)量速度 : 0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s（在表面粗糙度測(cè)量時(shí)）
0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2mm/s（在輪廓測(cè)量時(shí)）
測(cè)量方向 : 向前／向后
直線度 : 0.2µm/100mm （0.4µm/100mm: 在輪廓測(cè)量時(shí)）
* 以 X1 軸為水平方向上
指示精度 （20?C）: ±（0.8+0.01L）µmL = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 （mm）
傾斜范圍 : ±45?
表面輪廓測(cè)量裝置Z1 軸
測(cè)量范圍 : 5mm
分辨率 : 80nm （5mm 范圍）8nm （0.5mm 范圍）0.8nm （0.05mm 范圍）指示精度 （20?C）: ±（1.5+I2HI/100）µm
H 為基于水平位置的測(cè)量高度 （mm）
測(cè)力 : 0.75mN
跟蹤角度 : 向上 : 65?, 向下 : 65?（使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭，依表面粗糙度而定）
測(cè)針針尖 （標(biāo)準(zhǔn)型）: 金剛石針尖 ,
針尖角度 : 60?, 尖端半徑 : 2µm
測(cè)針針尖 （圓錐）: 藍(lán)寶石針尖 ,
針尖角度 : 30?, 尖端半徑 : 25µm
測(cè)針?lè)较?: 向下
表面輪廓測(cè)量裝置Z2 軸 （立柱）
立柱移動(dòng) : 300mm
分辨率 : 1µm
驅(qū)動(dòng)速度 : 0 - 20mm/s 外加手動(dòng)