CD1836 Nanofics 低壓等離子表面處理設(shè)備

反應(yīng)艙

材料: 鋁
有效尺寸: 1600 x 1350 x 850mm
容積: 1836L
艙門(mén): 裝有可視窗口
插槽: 4個(gè)  尺寸: 1000 x 285mm, 每個(gè)插槽可放多個(gè)285 x 756mm托盤(pán)

真空度測(cè)量

皮拉尼真空計(jì)

真空泵

干式真空泵泵組

頻射發(fā)生器

根據(jù)客戶應(yīng)用需求定制

控制系統(tǒng)

PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能:
自動(dòng)控制反應(yīng)過(guò)程;
根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝參數(shù);
測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo);
監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo), 保證各項(xiàng)參數(shù)在設(shè)定范圍之內(nèi);
設(shè)定操作進(jìn)入密碼。

電源

380V AC, 三相, 50Hz, 63A

反應(yīng)氣體

一個(gè)氣體輸入端口, 含氣體流量控制器（MFC）

氣體輸入

直徑1/4英寸（6.45mm） 管道; 輸入壓力: 1Bar

尾氣排放

直徑28mm 輸出端口

性能

急停開(kāi)關(guān); 真空泵保護(hù)鎖; 高溫保護(hù)鎖; CE認(rèn)證。