CD1000 Nanofics低壓等離子表面處理設(shè)備

反應(yīng)艙

材料：鋁
有效尺寸：1000 x 700 x700mm
容積：490L
艙門：裝有可視窗口
托盤：5個(gè)    尺寸：858 x 672mm

真空度測(cè)量

皮拉尼真空計(jì)

真空泵

干式真空泵泵組

頻射發(fā)生器

根據(jù)客戶應(yīng)用需求定制

控制系統(tǒng)

PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能：

• 自動(dòng)控制反應(yīng)過(guò)程；
• 根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝參數(shù)；
• 測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo)；
• 監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo)，保證各項(xiàng)參數(shù)在設(shè)定范圍之內(nèi)；
• 設(shè)定操作進(jìn)入密碼。

電源

380V AC, 三相，50Hz, 40A

反應(yīng)氣體

一個(gè)氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）

氣體輸入

直徑1/4英寸（6.45mm） 管道；輸入壓力：1Bar

尾氣排放

直徑28mm 輸出端口

性能

急停開關(guān)；真空泵保護(hù)鎖；高溫保護(hù)鎖；CE認(rèn)證。